Prisma四极质谱残气分析器

• 经济实用的真空工艺检测

• 紧凑设计便于集成到真空系统

• 灵敏度高,检测范围宽

• 操作简单,动态数据交换

OmniStar/ThermoStar顶级气体分析系统

• 各种气体的定量分析

• 大气取样

• 取样管路温度控制,适用于凝结性气体

• 检测灵敏度和检测精度高

SPM 200溅射过程监控仪

• 在线监测溅射镀膜和反应过程

• 最优化工艺产额

• 最优化产品质量

• 通过真空条件和工艺气体在线监测, 确保产品质量　　　

PPM 422等离子体过程监控仪

• 等离子内中性粒子,正负离子检测

• 中性粒子,正负离子能量分析

• 辐射测量

• 等离子终结过程检测

• 测量速度快,动态范围大