|
东方晨景公司在国内的独家代理美国AJA公司的各类磁控溅射靶（阴极）。AJA公司靶的制造技术在世界上处于领先地位，其产品成为世界上很多大公司（如德国莱宝等）的指定配套设备。
AJA的靶通常具有如下特点：
·
模块化磁场排布，这样磁场的强度和分布可以按用户的需要随意调整
·
磁铁和冷却水不直接接触，以确保不生锈，从而长期保证磁铁的品质。
· 靶头可以+/-
45°倾斜，以及原位倾斜
· 可做磁性及非磁性材料溅射
· 不需要拆卸可直接烤到200摄氏度
·
工作压力范围宽，在0.5mTorr 700mTorr之间均可工作
·
可轴向或转90度设置，可以满足用户对于有安装位置的限制要求以及有特殊用途
·
溅射速率快，最大可以达到15KÅ/Min
·
成膜均匀性极高，例如：使用原位倾斜角度23度的A320-XP（使用2英寸靶材）靶枪，
·
溅射距离100mm，在旋转的4英寸的硅片上溅射SiO2膜，可以得到1.7%的均匀性。
· 适合高真空及超高真空
·
距基片的距离可调整，即Z轴距离可以调节
· 适合直流及射频电源
·
内置气孔，进气孔可直接集成在靶上。
· 多种安装形式等等
· 其它等多种选件，方便使用
主要型号如下：
|
ST系列，物美价廉的高真空靶枪，既适合研究又适合工业生产 |
|
|
ST10：1英寸直径
ST20：2英寸直径
ST30：3英寸直径
ST40：4英寸直径
ST1550：1.5×5英寸
ST1580：1.5×8英寸
ST2056：2×5.6英寸
ST2080：2× 8 英寸 |
 |
 |
|
|
选配部件：
靶头倾斜组件、溅射模式转换用磁铁组块及磁铁移除工具、靶头90度弯头组件、挡片、保护罩、注气装置、连接法兰等。 |
|
|
|
|
|
A300系列超高真空靶，目前市场上最好研究用靶，适合薄膜研究用 |
|
|
 |
 |
 |
|
|
选配部件：
靶头倾斜组件、溅射模式转换用磁铁组块及磁铁移除工具、靶头90度弯头组件、挡片、保护罩、注气装置、连接法兰等。 |
|
|
A315：1.5英寸直径
A320：2英寸直径
A330：3英寸直径
A340：4英寸直径 |
|
|
|
|
|
|
A3CV系列，可以使用不同尺寸的靶材，适合高真空和超高真空，适合研究用 |
|
|
A3CV-MM3
最大3英寸直径
A3CV-2.5
最大2.5英寸直径
A3CV-2.0
最大2英寸直径 |
 |
|
|
|
|
|
|
A4000系列，溅射速率高、均匀性好，适合于生产应用 |
|
|
A4005：5英寸直径
A4006：6英寸直径
A4008：8英寸直径
A4010：10英寸直径
A4012：12英寸直径 |
|
 |
|
|
|
|
|
|
A4500系列，5英寸宽，矩形靶，溅射速率高，均匀性好，适合生产用 |
|
|
A4512：12英寸长
A4517：17英寸长
A4524：24英寸长
A4530：30英寸长
A4540：40英寸长
|
|
|
|
|
|
|
|
NAUTILUS系列可转动靶，为工具镀膜量身定做 |
|
|
|
 |
|
|
详细内容请访问：http://www.ajaint.com/nautilus_series.htm |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
AJA公司的复合法兰
AJA公司的复合法兰是构建系统的绝佳选择。作为磁控溅射腔体的关键部件，AJA独到的法兰设计，保证了用户在共溅射和多层膜的工作能顺利进行。在法兰盖上可以安放多到12个溅射靶，以及其它装置，既适用于高真空又适用于超高真空。
有如下布置形式：
|
