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低温真空探针台
 

低温真空探针台

Lake shore (Desert Cryogenics)公司生产的低温真空探针台在世界上享有盛誉。它用来无损检测样品的电性能,用于半导体、微电子、固体物理、纳米、超导等研究冷域,是研究材料的电阻率、磁电阻等各种物理特性的有力工具。

Lake shore (Desert Cryogenics)公司的低温真空探针台操作简单,使用方便、灵敏度高。

  

一、原理

样品放在探针台的样品架上,通过调节三轴操作器,探针可以在X,Y,Z轴自由移动,方便的改变测量点。探针台采用液氦或液氮制冷,用户在控温仪上设置所需要的温度值,可以任意控制样品的温度。探针臂上装有连接电缆,可以传输直流或交流信号。

二、组成

低温真空探针台分为以下几个组成部分:

1.        探针台主体,包括:真空室,探针臂,直流或交流探针、探头电缆等。

2.        光学系统,包括:显微镜、CCD相机、电光源、彩色监视器等

3.        低温传输管线,用来把液氦或者液氮从杜瓦传送到探针台中

4.        控温仪,用来控制样品的温度

5.        抽真空系统,用来对探针台的真空室抽真空

6.       磁场系统,包括超导磁体和超导磁体电源(适用于Custom Magnetic Field Probe Stations 系统)

 

  

 

 

三、特征和分类

Lake shore (Desert Cryogenics)公司的探针台可以测量直流和交流信号,频率范围是直流-67G..最大可以检测4英寸的样品。它采用连续流制冷方式,标准可控温度范围4.2K-475K,同时提供3K1.5K 的选件,使可控温度范围达到1.5K-475K。提供4探针和6探针的系统。提供可加1T磁场的探针台。

 

主要产品分为3个系列:

Table top probe station: 检测2英寸的样品

Full wafer probe station:检测4英寸的样品

Custom Magnetic Field Probe Stations: 可加水平或垂直1T磁场,检测22 mm 样品

 

四、研究领域

研究领域           应用                     Experimental Techniques

半导体         量子霍尔效应                   磁电阻特性 (MR)

Quantum dots                        霍尔效应      

单电子隧道              DC & RF transport

量子计算                            高频传导率

 

Basic device characterization  直流,、微波和霍尔效应

             

Dilute magnetic semiconductors Hall effect and Magnetometry

微电子学(CNTs, etc.)                直流电导率和霍尔效应

 

 

固体物理         Mesoscopic systems                   电阻系数

                  

巨磁电阻                          磁电阻特性 (MR) and magnetometry

                          庞磁电阻                                 磁电阻特性 (MR) and magnetometry

                          磁隧道结                                 磁电阻特性 (MR) and magnetometry

 

超导电性        低温和高温超导体               电阻系数

 

                                                                             Magneto-transport

                                                                         Magnetometry

                                                                         微波测量

测量参数:

 

 

µ vs.T          R vs. T

dI/dV vs. V       I vs. Time

dV/dI vs. H       V vs. Time

dV/dI vs. I       Drain I vs. Drain V

I vs. V

 

五、特点:

信号范围直流-67G

采用液氦和液氮连续流制冷,冷却迅速,同时冷却样品和探针,变温范围1.5K-475K

控温稳定性±50mK

可以同时监测样品和探针的温度

Lakeshore 331S控温仪

Lakeshore 1.4-475K标定温度计,提供很高的精度

最大样品范围4英寸

最大探针行程 125mm x 51mm x 16mm

原位倾斜  ±5°

标准配置71的显微镜,同时提供12.51161高精度的显微镜供用户选择

系统标准配置包含:显微镜、CCD照相机、光源、14英寸彩色监视器

直流、交流探针的更换简单、方便

多种样品架供用户选择

多种探针供用户选择

标准配置中含有低温传输管线

 

 

 

六、灵活应用:
    LakeShore
的探针台系列产品为使用者提供了很大的便利。例如:可以加水平或者垂直磁场,可以加光纤电缆等。

LakeShore的探针台系列产品配有多种选件和附件,从而增强了它应用的灵活性。例如,适应不同的噪音精度要求,提供接地、单轴或三轴电缆,提供接地、单轴或三轴样品架等

 

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